大尺寸低吸收 CLBO 晶体生长与应用
CLBO 晶体是一种新兴的具有优良深紫外非线性特性 的晶体材料,在紫外波段具有优异的非线性光学性质,非常适合 用来产生 266nm 和 193nm 的激光。主要应用于半导体检测、生物 医学等领域。大口径的 CLBO 晶体器件还可用于我国的大科学装 置 OPCPA 超短超强激光系统,推动相关激光技术发展。 目前,晶体中心研发出抗潮解 CLBO 晶体生长工艺及无水加 工工艺,进行了 266nm 连续波激光输出实验,激光功率达到了 1.378W,稳定输出超过 1000 个小时,完全满足实用化需求。大 尺寸 CLBO 晶体正在加速研制中,2024 年已成功生长出 852 克的 CLBO 晶体,获取了 30mm×30mm×3.7mm 尺寸的无缺陷晶体器件, 已交付用户进行激光实验。 后续研究工作重点是进一步降低晶体吸收系数,提高晶体损伤阈 值,实现 10 瓦级 266nm 和 40W 级 355nm 激光输出,以及进行相 关的工程化研究。