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北京市准分子激光工程技术研究中心

高端装备 其他平台
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北京市过程污染控制工程技术研究中心

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中科院计算所集成电路研究与设计开放实验室

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纳米标准与检测重点实验室

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纳米系统与多级次制造重点实验室

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