需求简介
技术背景:本产品驱动部分为PLZT陶瓷片,无需传动装置,可以直接将光能转化为机械能,实现对微流阀膜的直接驱动。具有非接触远程控制、电磁兼容性强、安全性高、结构简单等优点。相比较于现有的光控微流体阀器件产品,本项目产品几乎可以适用于所有微流体种类,且驱动力大,响应速度快、控制精度高。
需要解决技术问题:完善工艺与封装,以达到小批量生产。
技术指标:低温共烧(<900 ℃)PLZT/玻璃/PDMS多层异质键合,保证生物兼容(ISO 10993-5/10)。无引线封装:采用ITO或石墨烯透明电极,避免金属线腐蚀与脱落。 一次性注塑成型工艺,使芯片成本<0.5 USD/片。