北京市准分子激光工程技术研究中心于2014年5月由北京市科委认定，依托中国科学院光电研究院建设，姚琳任主任。中心以极大规模集成电路光刻应用为牵引，面向特种加工、生物医疗等需求，开展准分子激光系统运转机理、系统设计及单元技术工程化研究。主要研究方向包括：1.高压脉冲电源技术；2.气动流场控制技术；3.放电动力特性技术；4.光谱控制技术；5.深紫外波段激光参数综合检测技术；6.深紫外激光材料表面处理技术；7.深紫外激光3D打印技术。现有工程技术人才约40人，专业涵盖激光技术、电子技术、机械结构、光学设计、控制技术等领域，形成从基础研究到工程化的完整技术链条。
1. 准分子激光系统研发与工程化服务
开展准分子激光系统运转机理研究、系统设计、单元技术工程化研发，包括高压脉冲电源、气动流场控制、放电动力特性、光谱控制及深紫外波段激光参数综合检测等技术服务。
2. 平台支撑与联合技术服务
通过委托研发、测试及联合实验等服务措施，为相关企事业单位提供准分子激光技术及准分子激光系统综合研发平台支撑。
3. 应用技术研究与产业化服务
开展准分子激光应用技术研究，包括深紫外激光材料表面处理技术、深紫外激光3D打印技术，面向特种加工、生物医疗等领域提供技术解决方案，推动准分子激光器及其应用产业化。
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