微纳电子技术支撑平台2015年1月认定，依托清华大学微纳电子学系，吴华强任主任。骨干专家钱鹤为教授、微纳电子系党委书记、微电子所副所长，获国家技术发明二等奖、北京市科技进步一等奖。
平台现有超净实验室面积约1200平方米（千级，含百级超净间100平方米），拥有完整的微纳加工工艺设备和测试设备。聚焦新型半导体存储器（3D-NAND、RRAM、类脑计算）、二维纳电子器件（石墨烯、MoS2）、生物检测芯片（纳米磁颗粒GMR探测器）等方向研究。目标是建设"开放式、多目标的科研教学实验平台"，为校内外研究和企事业单位提供技术支撑。

1. 微纳加工与测试服务
提供成套的微纳加工工艺和测试技术服务，支持多学科交叉前沿研究。
2. 新型半导体存储器研发
开展3D-NAND关键技术、RRAM材料与器件优化、基于忆阻器的类脑计算芯片研究。
3. 二维纳电子器件研制
提供石墨烯、MoS2等二维材料制备及射频器件研制服务。
4. 生物检测芯片开发
开发面向生物微量特异蛋白检测的纳米磁颗粒GMR探测器和集成电感探测器。
5. 科研教学平台支撑
为校内外科研团队和企业提供开放式科研教学实验环境及技术服务。