平台简介
集成电路先进制造创新实验室于2020年9月由中关村管委会认定,依托中国科学院微电子研究所建设,现任主任为李俊峰、杨涛。实验室现有150名研发人员,核心团队来自世界著名集成电路研发机构,拥有超过10年的研发和科研管理经验,核心工程师均有近8年及以上工业界研发或生产经验,另有在读博士、硕士研究生40余人。
领衔专家罗军:博士学历,研究员,现任中科院微电子所集成电路先导工艺研发中心主任,主要研究方向为集成电路工艺与器件、金硅化物及接触技术MRAM集成技术。
领衔专家殷华湘:博士学历,研究员,现任中科院微电子所集成电路先导工艺研发中心副主任,主要研究方向为纳米CMOS高级器件、集成电路先进工艺技术、低维纳米材料与器件、信息显功能器件、硅基探测器等。