半导体集成技术开放实验室于2004年1月由中关村管委会认定，依托中国科学院半导体研究所建设，现任主任为杨富华。实验室现有成员29人，包括研究员6名、副研究员5名，研究生和博士后20余人。

实验室作为公共半导体工艺技术平台，拥有半导体所近一半的新增工艺设备，主要提供以下服务：
1、半导体工艺技术加工服务：面向研究所各课题组开展硅基和化合物光电子器件及结构、化合物半导体器件、MEMS器件的加工和工艺测试；
2、对外技术服务：利用相关资源为大学、研究机构和企业提供工艺技术服务，充分发挥公共资源的社会效益。