平台简介
传感技术联合国家重点实验室于1987年由科技部认定,依托中国科学院电子学研究所建设,现任主任为夏善红研究员。
实验室现有在编人员40余人,其中研究员8名、副研究员12名,具有博士学位者占职工总数近70%,在读研究生约100人。拥有973首席科学家2名、中科院百人计划人才1名。
领衔专家夏善红:博士生导师、973首席科学家,1983、1986、1994年分别于清华大学、中科院电子所、英国剑桥大学获学士、硕士和博士学位。1990年获皇家学会Royal Fellowship,两次获英国皇家学会国际合作项目支持,曾赴香港科技大学及美国加州大学伯克利分校BSAC中心开展合作研究。多年从事传感器与微系统技术研究,主要研究领域包括电场传感器、水环境监测传感器、微传感集成芯片系统、无线网络传感器及微纳制造技术。
服务内容
实验室面向国家战略需求和世界科技前沿,以基于微电子和微机械加工技术的微传感器和系统为主要研究方向,开展基础性、战略性、前瞻性研究,致力于提高我国传感技术的自主创新能力和国际竞争力,推动技术应用和产业发展。
主要服务内容包括:
1、微纳传感器及微系统研究:基于微纳加工技术的微传感器和微系统设计与研制,具有电子学、信息技术、生物技术、化学、材料科学等多学科交叉综合优势;
2、MEMS工艺加工服务:拥有3500平方米实验场地(含1000平米超净间),具备完整微电子机械系统(MEMS)加工工艺线及先进测试设备,可提供各种基于MEMS技术的微结构器件设计、加工及测试服务;
3、人才培养与科研合作:建设高素质传感技术人才培养基地,可对外开放并合作开展相关领域研究,为国民经济建设和传感技术产业发展提供支撑。