服务内容
实验室面向国家战略需求和世界科技前沿,以基于微电子和微机械加工技术的微传感器和系统为主要研究方向,开展基础性、战略性、前瞻性研究,致力于提高我国传感技术的自主创新能力和国际竞争力,推动技术应用和产业发展。
主要服务内容包括:
1、微纳传感器及微系统研究:基于微纳加工技术的微传感器和微系统设计与研制,具有电子学、信息技术、生物技术、化学、材料科学等多学科交叉综合优势;
2、MEMS工艺加工服务:拥有3500平方米实验场地(含1000平米超净间),具备完整微电子机械系统(MEMS)加工工艺线及先进测试设备,可提供各种基于MEMS技术的微结构器件设计、加工及测试服务;
3、人才培养与科研合作:建设高素质传感技术人才培养基地,可对外开放并合作开展相关领域研究,为国民经济建设和传感技术产业发展提供支撑。
