本中心于2011年6月经北京市科委认定成立，依托中国科学院微电子研究所建设，是北京市工程技术研究中心。中心主任为陈大鹏博士。
中心现有在职员工112人，其中中组部"其他计划"4人、中科院"百人计划"5人，硕、博士人员占总人数58%。累计培养研究生68名（博士10名、硕士48名）。骨干专家包括朱慧珑博士（首席科学家，国家重大专项02专项项目首席专家，中组部2009年第一批"其他计划"入选者）和赵超博士（主任，国家重大专项02专项项目副首席专家）。
中心具有全套的CMOS/MEMS研发工艺，技术优势和人力优势集中体现在纳米器件的研发。建立了0.5微米多晶硅CMOS及0.5微米HKMG CMOS工艺标准，尤其是建立了22纳米HKMG CMOS的IP库。

本中心面向集成电路产业需求，依托先进的工艺研发能力，提供以下技术服务：
1.CMOS/MEMS工艺研发服务：提供全套CMOS/MEMS研发工艺支持，开展纳米器件关键工艺技术研发，涵盖新材料、新结构、新工艺开发
2.先进工艺IP库服务：提供22纳米HKMG CMOS等先进工艺节点的IP库支持，以及0.5微米多晶硅CMOS、0.5微米HKMG CMOS工艺标准相关技术服务
3.特种器件与特种工艺研发：对外开展特种器件研发、特种工艺开发服务，满足特定应用场景的定制化需求
4.材料与器件表征分析服务：拥有各种前沿精准的量测仪器，提供材料表面表征、成分分析、器件结构分析、各种介质层剖面分析等测试分析服务
5.先导工艺平台建设服务：提供先导工艺关键模块研究、先导工艺平台建设咨询及技术服务
6.人才培养与技术服务：依托国家重大专项平台，培养集成电路领域高层次研发人才；提供技术咨询、联合攻关及成果转化服务