氮氧化锆薄膜温度计以其宽广的测量温区、高精度、高灵敏度、优异稳定性及低磁致电阻等显著优势，在航空航天、大型科学装置及量子计算等领域的高能辐射、强磁场和极低温环境中展现出广泛的应用潜力。本项目依托低温材料及实验技术团队在材料低温物性研究领域的深厚积累，结合先进的薄膜制备、光刻和封装工艺，成功开发了氮氧化锆薄膜温度计。本项目团队通过精细调控薄膜组分，共计研制出 1010、1030、1050、1070 和 1080 五个系列型号的氮氧化锆薄膜温度计，测量温度范围覆盖 0.1~423 K，适应宽温区温度测量需求。上述温度计特别适用于低温系统和稀释制冷机等应用场景，为极端环境下的温度测量提供可靠的技术支持。

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