BGA/QFP 集成电路封装检测设备

高端装备
所处阶段 中试
所属城市 山东
转化方式 不详
所属单位 山东省科学院激光研究所

成果简介

根据市场需求,针对 BGA/QFP 集成电路封装检测关键技术进行研究,
用光学硬件设计来消除图像透视误差和图像畸变问题,实现 BGA/QFP 封装
过程中的位置、尺寸、缺陷等参数测量,并使用三维测量技术实现
BGA/QFP 封装过程中的高度及共面性等三维信息的测量,精度均达微米
级。
设备特点:
1、可测量 BGA 封装焊球高度、直径和间距等关键参数,精度 5 微米
2、可测量 QFP 封装管角尺寸和间距等关键参数,精度 5 微米
检测项目:

应用场景

不详