氮化硅陶瓷是一种六方晶体结构的无机非金属强共价键化合物，有两种同素异构体，α-氮化硅和 β-氮化硅。其中，α 相是亚稳态的低温相，β 相是稳定的高温相，一般认为 α-氮化硅在 1 400～1600 ℃时发生不可逆相变，转变为 β-氮化硅。因为其 N 原子和 Si 原子的结合力很强，氮化硅具有优良的力学性能，如：强度高，韧性好，稳定性好，化学性能稳定，绝缘性好，硬度高等优点，已被广泛应用于高温发动机、高速切削等多个领域。由于氮化硅是一种强共价键化合物，共价键程度为 70％ ，在烧结过程中，体扩散系数不到 10-7，因此氮化硅的烧结较为困难，往往需要较高的烧结温度，甚至还需要在高压条件下烧结，既浪费了资源，又增加了成本。为降低烧结温度，提高烧结活性，就需要高纯、超细的氮化硅粉体。氮化硅粉体的制备方法有很多，总体可分为 3 大类：固相反应法、液相反应法、气相反应法。其中，固相反应法可分为直接氮化法、碳热还原法、自蔓延法等；液相反应法可分为热分解法、溶胶-凝胶法等；气相反应法可分为高温气相反应法（CVD）、激光气相反应法（LICVD）、等离子体气相反应法（PCVD）等。

不详