大尺寸低吸收 CLBO 晶体生长与应用

新材料
所处阶段 小试
所属城市 不详
转化方式 技术开发、技术服务
所属单位 中科院理化所

成果简介

CLBO 晶体是一种新兴的具有优良深紫外非线性特性
的晶体材料,在紫外波段具有优异的非线性光学性质,非常适合
用来产生 266nm 和 193nm 的激光。主要应用于半导体检测、生物
医学等领域。大口径的 CLBO 晶体器件还可用于我国的大科学装
置 OPCPA 超短超强激光系统,推动相关激光技术发展。
目前,晶体中心研发出抗潮解 CLBO 晶体生长工艺及无水加
工工艺,进行了 266nm 连续波激光输出实验,激光功率达到了
1.378W,稳定输出超过 1000 个小时,完全满足实用化需求。大
尺寸 CLBO 晶体正在加速研制中,2024 年已成功生长出 852 克的
CLBO 晶体,获取了 30mm×30mm×3.7mm 尺寸的无缺陷晶体器件,
已交付用户进行激光实验。
后续研究工作重点是进一步降低晶体吸收系数,提高晶体损伤阈
值,实现 10 瓦级 266nm 和 40W 级 355nm 激光输出,以及进行相
关的工程化研究。

应用场景

先进材料